MX4RT微分干涉显微镜,LCD行业/ TFT玻璃行业检查显微镜
MX4RT微分干涉显微镜,LCD行业/ TFT玻璃行业检查显微镜
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MX4RT微分干涉显微镜,LCD行业/ TFT玻璃行业检查显微镜

产品概述

MX4RT微分干涉显微镜采用无限远色差校正光学系统,配备透反射式照明系统可用于观察不透明产品的表面结构特征,具备明场观察,偏光观察以及DIC观察三种观察模式,可以观察FOGCCOG爆破粒子状态结构。

产品性能特点:

MX4RT为新型FPD检查显微镜,专为LCD行业/ TFT玻璃/COG导电粒子压痕、粒子爆破检查

MX4RT采用6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查

MX4RT采用长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源。

显微镜参数

序号

名称

技术参数

01

平场目镜

大视野PL10X/22mm

02

金相物镜

无限远长工作距平场消色差金相物镜5X-DIC,WD=10.8mm,NA=0.15

无限远长工作距平场消色差金相物镜10X-DIC,WD=12.2mm,NA=0.30

无限远长工作距平场消色差金相物镜20X-DIC,WD=4mm,NA=0.45

无限远长工作距平场消色差金相物镜50X,WD=7.9mm NA=0.55

03

总放大倍数

50X-500X

04

观察头

铰链式三目,30°倾斜,分光比:三目50%/50%

06

调焦机构

透反机架,前置低手位粗微调同轴调焦机构,粗调每转行程:30mm,微调精度:0.001mm,带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置,内置5WLED透射光照明系统,上下光可独立控制

07

载物台

6英寸三层机械移动平台,低手位X\Y方向同轴调节,平台面积445mmX240mm,移动范围:158mmX158mm,玻璃载物平台

08

偏光附件

检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路

09

摄像接口

0.5X摄像接口,C型接口

10

照明系统

宽电压100V~240V,5W暖色LED落射光照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调。